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應(yīng)用范圍：

Nernst 微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀是專門針對(duì)微電子行業(yè)設(shè)計(jì)制造的第7代微氧分析儀。廣泛應(yīng)用于快速退火爐，Rapid Thermal Processing，真空焊接爐,電子行業(yè)芯片制造，回流焊，手套箱，3D打印，生物醫(yī)藥業(yè),精密零部件光亮退火爐，高強(qiáng)合金刀具涂層處理設(shè)備等,以及各種小型設(shè)備上需控氧的工藝。由于采用長(zhǎng)壽命，高精度氧化鋯片結(jié)構(gòu)原理，可有效測(cè)量微氧，所測(cè)微氧量可達(dá)10^-30%~氧含量，特別適合對(duì)產(chǎn)品工藝氧含量要求控制要求嚴(yán)格設(shè)備和工藝。分析儀實(shí)時(shí)提供爐內(nèi)或煙道內(nèi)煙氣的含量O₂%(百分比)以及12種其他有用的參數(shù)。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測(cè)量高精度氧氣含量的領(lǐng)域。

微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀 技術(shù)特點(diǎn)：

◆ 氧探頭傳感器：內(nèi)置式高精度片狀氧化鋯傳感器，反應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間＜100毫秒。

◆ 多路輸出控制：儀器有兩路4～20mA電流輸出及計(jì)算機(jī)通訊接口RS232或網(wǎng)絡(luò)通訊接口RS485。

◆ 測(cè) 量 范 圍： 測(cè)氧范圍10的負(fù)30次方至氧量。

◆ 氧量顯示單位：百分含量%，PPM方式，科學(xué)計(jì)數(shù)法E-X%自動(dòng)轉(zhuǎn)換。

◆ 報(bào) 警 設(shè) 置： 儀器有1路通用報(bào)警輸出以及3路可編程序報(bào)警輸出。

◆ 自 動(dòng) 校 正： 儀器會(huì)自動(dòng)監(jiān)測(cè)各功能系統(tǒng)并自動(dòng)校正以保證儀器測(cè)量時(shí)的精度。

◆ 智 能 系 統(tǒng)： 儀器可人機(jī)對(duì)話并按預(yù)定的設(shè)置完成各項(xiàng)設(shè)置的功能。

◆ 顯示輸出功能：儀器有很強(qiáng)的顯示各種參數(shù)的功能并具有很強(qiáng)的各種參數(shù)的輸出和控制功能。

◆ 安 全 功 能： 當(dāng)爐子停止使用時(shí)，用戶可控制關(guān)閉探頭的加熱器以確保使用時(shí)的安全。

◆ 無(wú) 需 安 裝： 儀器為一體化便捷式分析儀。

規(guī)格和參數(shù)：