SmartSPM原子力顯微鏡(AFM, SPM)
SmartSPM原子力顯微鏡，又稱掃描探針顯微鏡，SPM.
測(cè)量模式
l 接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相)
l 半接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相)
l 真正非接觸式原子力顯微鏡
l 橫向力/摩擦力顯微鏡(LFM)
l 導(dǎo)電原子力顯微鏡
l 磁力顯微鏡(MFM)，開爾文探針(Kelvin Probe)
l 電容和靜電力顯微鏡(EFM)
l 高級(jí)的納米光刻和納米操作能力
l 音叉原子力顯微鏡
l 掃描范圍：100x100x15um(+ / -10%)
l 掃描類型：樣品
l XY非線性度： 0.03 %
l Z非線性度： 0.1 %
l 噪音：
Ø 電容傳感器開，在200Hz帶寬，在XY 0.1nm RMS，
Ø 電容傳感器關(guān)閉，在100Hz帶寬，在XY 0.02nm RMS。
Ø 1000Hz帶寬， < 0.04nm的RMS Z電容式傳感器
l 數(shù)字閉環(huán)控制：X ， Y ，Z軸
l XY共振頻率： 7KHz(卸載)
l Z共振頻率： 15 KHz(卸載)
l 主動(dòng)消除XY相位滯后，過沖和結(jié)圈現(xiàn)象，在快速掃描時(shí)無任何動(dòng)態(tài)圖像失真
l 在掃描器共振頻率上Z控制信號(hào)的數(shù)字濾波技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了極短的穩(wěn)定時(shí)間
l 全自動(dòng)樣品定位：范圍-5 x 5mm，
定位分辨率-1 um
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測(cè)量模式 l 接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相) l 半接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相) l 真正非接觸式原子力顯微鏡 l 橫向力/摩擦力顯微鏡(LFM) l 導(dǎo)電原子力顯微鏡 l 磁力顯微鏡(MFM)，開爾文探針(Kelvin Probe) l 電容和靜電力顯微鏡(EFM) l 高級(jí)的納米光刻和納米操作能力 l 音叉原子力顯微鏡 三維掃描成像 |
| AIST-NT是經(jīng)驗(yàn)豐富的掃描探針顯微鏡(SPM)制造商，在掃描探針顯微鏡領(lǐng)域有超過65年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，一直致力于新型掃描探針顯微鏡的創(chuàng)新性研發(fā)和制造。目前已推出新一代低噪音-快速掃描-超高穩(wěn)定性的AFM和AFM-NanoRaman系統(tǒng)。AIST-NT承諾提供品質(zhì)的服務(wù)和客戶支持，同時(shí)還提供納米技術(shù)的OEM客戶定制，外包等業(yè)務(wù)。 |
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