Apollo300特點(diǎn)：
熱場(chǎng)發(fā)射肖特基電子光源
Through-Lens上位
二次電子/背散射電子探測(cè)器
可變能量技術(shù) 樣品室內(nèi)無(wú)場(chǎng)工作
超長(zhǎng)的燈絲壽命 (一般 15,000hrs，>25,000hrs可達(dá))
超大樣品室，承載10Kg重的樣品
主要技術(shù)參數(shù)
| 電子光源 | 高亮度肖特基源的熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
| 分辨率 | 1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector) |
| 加速電壓 | 0.1kV – 30kV連續(xù)調(diào)節(jié),步長(zhǎng)100V |
| 放大倍數(shù) | <10倍 至 >900,000倍，工作距離和高壓變化時(shí)進(jìn)行地補(bǔ)償 |
| 電子束流 | 可達(dá)100nA |
| 光欄選擇 | 6孔光欄，高精度點(diǎn)擊選擇 |
| 探測(cè)器 樣品室內(nèi)二次電子探頭 Through -Lens探頭 樣品室內(nèi)BSE探頭 | E-T探頭僅用于樣品室高真空操作,幾何位置可調(diào)整 DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探頭 羅賓遜/4分割固體背散射電子探頭 |
| 真空系統(tǒng) | TMP(渦輪分子泵)+2個(gè)離子泵，高壓和所有電子槍供給全部 與真空互鎖 |
| 樣品室尺寸 | 413mm寬x313mm深x313mm高. |
| 樣品臺(tái)移動(dòng) | 優(yōu)中心6軸樣品臺(tái). X=100mm，Y=100mm，(Y=150mm，選配)，Z=50mm， Z’=10mm Tilt=-5～+90°， Rot=360° |
| 樣品臺(tái)載重 | 承載樣品的重量超過(guò)5公斤 |
| 樣品室接口 | 14個(gè) |
| 防震系統(tǒng) | 自動(dòng)水平傳感器的氣墊裝置 |
| 自動(dòng)特性 | 自動(dòng)聚焦,消像散,亮度和對(duì)比度調(diào)整. 自動(dòng)電子束對(duì)中.自動(dòng) 電子束流檢測(cè).真空檢測(cè)與調(diào)整 |
| 顯示器 | 雙顯示器，能形成雙幅橫向工作區(qū) |
| 視頻獲取 圖像處理 | 6路優(yōu)化像素噪音功能實(shí)現(xiàn)雙路獲取 樣品檢查模式帶有轉(zhuǎn)換/掃描圖像定位中心特性 全屏注釋和圖像測(cè)量功能 |
| 觸停報(bào)警裝置 | 標(biāo)配 |
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| 可配附件 | |
| EDS, WDS, EBSD, CL， STEM，電子束消隱裝置，激光定位儀，電子槍隔離閥， Fastrac， 光學(xué)顯微鏡，冷臺(tái)，熱臺(tái)，拉伸臺(tái) | |
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