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Werth測(cè)量機(jī)的測(cè)量范圍從幾十個(gè)毫米到數(shù)米，精度從幾個(gè)微米到百個(gè)納米，測(cè)量分辨率到達(dá)1個(gè)納米，可以集成進(jìn)去使用的測(cè)量傳感器：接觸式單點(diǎn)、接觸式掃描、低接觸力測(cè)頭、激  光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側(cè)頭，WERTH光學(xué)測(cè)頭、普通光學(xué)測(cè)頭、可見光干涉測(cè)頭、接觸式和激光復(fù)合的粗糙度測(cè)頭，WERTH CT (X 光高精度)測(cè)頭等十多種。

主要優(yōu)點(diǎn)
◆ 使用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中的探針接頭
◆ 在工件坐標(biāo)系中測(cè)量
◆ 光學(xué)測(cè)量部分可以進(jìn)行標(biāo)定
◆ 可以測(cè)量宏觀和微觀的結(jié)構(gòu)
◆ 使用簡(jiǎn)單
◆ 費(fèi)用低

局限
◆ 一維的傳感器
◆ 接觸式

可以測(cè)量的特征
◆ 尺寸, 位置, 二維形貌 (三維形貌部分可測(cè))
◆ 可以用于SPC和測(cè)量報(bào)告

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