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Wyko NT9800是目前功能大的光學(xué)輪廓儀，可快速地測量臺階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Veeco行業(yè)的第九代NT系列產(chǎn)品線的產(chǎn)品，NT9800可對0.1nm至10毫米尺寸進(jìn)行非接觸式三維測量，并具有納米量級的垂直分辨率。

具有定標(biāo)功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿足產(chǎn)品開發(fā)的需要，并可作為一個向量產(chǎn)過渡地穩(wěn)定的，可靠的平臺。采用Veeco的內(nèi)部參考激光將測量的標(biāo)準(zhǔn)臺階上的偏差降低到最小，同時可彌補(bǔ)自環(huán)境或機(jī)械不穩(wěn)定性造成的系統(tǒng)飄移。NT9800將大的測量核心技術(shù)、全自動化功能、大于十年以上的量產(chǎn)支持體系，及使用簡便的界面集于一身，已成為要求苛刻的科學(xué)研究及生產(chǎn)實踐的。行業(yè)的Wyko Vision軟件有超過200種的數(shù)據(jù)分析工具，包括自動序列測量、數(shù)據(jù)記錄及及時反饋和SPC的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)評判?？蛇x的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件(針對100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實現(xiàn)自動化，MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。NT9800光學(xué)輪廓儀是一款操作簡便、目前的光學(xué)輪廓儀。
 

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