寬量程壓力不敏感質(zhì)量流量模塊
D700WR 安裝了一個(gè)新的限流器，專為范圍廣泛的控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有基于 CRITERION™ 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制到滿量程的 0.1%，這有助于用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。例如，如果系統(tǒng)安裝了多個(gè) MFC 用于高低流量控制，用戶可以減少 MFC 的數(shù)量，并在同一位置使用另一個(gè) MFC 來(lái)實(shí)現(xiàn)不同的目的。
特征
0.1～99%寬范圍控制，小流量精度高
為流程優(yōu)化提供靈活性
≤ 500ms 升壓響應(yīng)
提供高生產(chǎn)率和更好的過(guò)程性能
堅(jiān)固的 CIP 壓力傳感器
減少大批量生產(chǎn)中的停機(jī)時(shí)間和人工成本
PFA 噴嘴使閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能提高 10 倍
具有較低顆粒風(fēng)險(xiǎn)的穩(wěn)健性可減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量
狀態(tài)監(jiān)控功能
為更智能的故障預(yù)測(cè)提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)
狀態(tài)監(jiān)視功能的輸出項(xiàng)目
流量/壓力調(diào)零計(jì)數(shù) |
閥門驅(qū)動(dòng)計(jì)數(shù) |
/最小P0,P1,P2壓力記錄 |
/最小塊溫度記錄 |
超過(guò)/低于壓力規(guī)格的總時(shí)間。 |
超過(guò)/低于溫度規(guī)格的總時(shí)間。 |
總工作時(shí)間 |
總控制時(shí)間 |
總流動(dòng)時(shí)間（每個(gè)校準(zhǔn)實(shí)例） |
總流量（每個(gè)校準(zhǔn)實(shí)例） |
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