FS-3000 結(jié)合了 HORIBA STEC 的質(zhì)量流量控制器 (MFC) 和 MuCube（主控制器）。通過從搭載了HORIBA STEC專有控制算法的MuCube控制MFC，F(xiàn)S-3000實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的分離控制。
特征
該控制算法通過控制流量比實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量分流控制，同時(shí)利用HORIBA STEC的控制優(yōu)化技術(shù)控制FS-3000上游壓力。此外，即使分流比發(fā)生變化，控制算法也可實(shí)現(xiàn)對(duì)流量分流的高速響應(yīng)。
提高可擴(kuò)展性、維護(hù)性能 FS-3000 通過高速信號(hào)處理支持拆分多達(dá) 15 個(gè)流道。當(dāng) MFC 發(fā)生故障時(shí)，F(xiàn)S-3000 只需更換故障的從機(jī)即可修復(fù)。
對(duì)所需規(guī)格的靈活響應(yīng) FS-3000 支持多種氣體，包括混合氣體。此外，F(xiàn)S-3000 支持 RS-485、DeviceNet 作為用戶接口。
規(guī)格
| 頻道 | 2-15頻道 | 工作溫度 | 5-50°C（推薦范圍：15-45°C） |
| 引入流量 | 取決于渠道和引入流量 | 耐壓 | 1000千帕（克） |
| 比例設(shè)定范圍 | 取決于渠道和引入流量 | 安裝方向 | 自由的 |
| 供給壓力狀況 | 取決于渠道和引入流量 | 控制界面 | RS-485、DeviceNetTM |
| 閥門類型 | O：常開 C：常閉 | 電源 | Master, Slave DC24V （符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)） |
| 回復(fù) * | 取決于渠道和引入流量 |
*各通道的響應(yīng)時(shí)間以本產(chǎn)品流量輸出達(dá)到流量設(shè)定變化量的98%時(shí)的響應(yīng)時(shí)間計(jì)算。最慢的響應(yīng)時(shí)間是分流器的響應(yīng)時(shí)間。
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