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高溫熱式質(zhì)量流量控制器9861 系列

可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路

        現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

1. CVD（蒸汽形式的前體輸送）

2. 剝落（水蒸氣）

3. 腐蝕（水蒸氣鈍化）

提升高溫流量控制的準確性和效率

        布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容所有過程氣體和蒸汽。獲得的 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準。

特點

• 超穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器

• 高純度流路

• 遠程控制電子元件（標配兩個模擬電子連接器）

• 數(shù)字測量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢

• 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本

• 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度

• 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D"連接器，可實現(xiàn)標準化并減少庫存

• 強化準確性和過程控制

應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

型號

規(guī)格

性能

機械

等級

電氣