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金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器GF100 系列

純度氣路。超高精確，無污染的控制。

        現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現(xiàn)性。

型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

        GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能：快速響應和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設(shè)計，GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導體行業(yè)標準水平，可確保測量結(jié)果可重現(xiàn)并且長時間使用后性能依然高度穩(wěn)定。一臺采用標準 MultiFlo™ 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。

結(jié)果：提高工藝靈活性和效率輔以業(yè)內(nèi)純度的過程氣體，有助于限度提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。

型號

規(guī)格

性能

機械

等級

診斷和顯示

電氣

承諾