Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作)
注：更多型號(hào)參數(shù)，請(qǐng)直接咨詢客服
面型干涉是目主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。
VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷處的振動(dòng)免疫） 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十 分精密的環(huán)境下工作”的認(rèn)知。
Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作),Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作)
30 納米 jue對(duì)精度,1nm重復(fù)精度
0.6 米直徑工件, 僅需 1 測(cè)量
表面形貌 3D 成像
全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測(cè)量軟件,現(xiàn)已支持Windows11
自動(dòng)調(diào)平選件,讓全自動(dòng)測(cè)量成為現(xiàn)實(shí)
成盤測(cè)量選件 實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程控制
一臺(tái)機(jī)器可測(cè)量多種工件 通過更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…
能夠測(cè)量的工件
直徑 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三維成像
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通過光路擴(kuò)展, 測(cè)量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通過CGH補(bǔ)償器, 測(cè)量復(fù)雜曲面
黑色或透明工件, 仍然能夠測(cè)量
適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測(cè)量) 一次采集, 同時(shí)完成上表面、下表面、厚度的計(jì)量。
適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對(duì)測(cè)距干涉，量程 > 100 μm 可進(jìn)行臺(tái)階、翹曲度、熱變形的測(cè)量。
出色的動(dòng)態(tài)范圍， 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。
將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
根據(jù)文獻(xiàn), 干涉計(jì)算對(duì) 0~120 Hz 的振動(dòng)敏感。 因此, 我們將機(jī)械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計(jì)到 127 Hz， 大大降低了機(jī)械結(jié)構(gòu)對(duì)振動(dòng)的敏感性
超高重復(fù)精度
對(duì)一片 250mm 直徑的平晶進(jìn)行 1000 次連續(xù)測(cè)量。
PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ）
RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改
三維成像原理
面型干涉是目主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技術(shù)原理
選件
VICT High 超高精度 測(cè)量模式
支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復(fù)精度 和1納米（1/633 λ）PV重復(fù)精度， 對(duì)環(huán)境擾動(dòng)進(jìn)行建模分析, 包括振動(dòng)、氣流、光場(chǎng)在內(nèi)的負(fù)面影響排除。
沒有使用多次測(cè)量取平均的方法, 不會(huì)導(dǎo)致被測(cè)物面型被“美化” 。
VICT Dop 多普勒抗振動(dòng)測(cè)量模式
非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作，所有模式中zui高的測(cè)量效率， 允許不使用隔振平臺(tái)。
蒙版跟蹤
超分辨三維圖
清潔度分析
基礎(chǔ)配置
| 主機(jī) | 型號(hào) | 測(cè)量尺寸(圓形-直徑)(注1) | 立式使用 | 臥式使用 | |
| Type100 | 102mm | OK | OK | ||
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK | ||
| Type250 | 250mm | OK | OK | ||
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | ||
| Type450 | 457.2 mm | x | OK | ||
| Type600 | 609.6 mm | x | OK | ||
| 注1:在80%直徑以內(nèi)使用時(shí),可以獲得更好的測(cè)量效果。 注2:推薦臥式使用,立式使用時(shí)會(huì)降低精度。 | |||||
| 激光測(cè)距點(diǎn)數(shù) | 標(biāo)準(zhǔn) | 692,224 | |||
| 高清 | 2,663,424 | ||||
| 高速 | 186,623 | ||||
| 超高速 | 692,224 | ||||
| 測(cè)量激光 | 激光器類型 | 波長(nm) | 8h波長穩(wěn)定度(nm)(注1) | 壽命(h)(注2) | |
| 穩(wěn)定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | ||
| 穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | ||
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | ||
| 高效半導(dǎo)體(注4) | 635 | 6 | 5,000 | ||
| 注1:在恒溫,隔振的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。 注2:由激光器廠家提供的參考?jí)勖?br style="box-sizing: border-box;"> 注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST | |||||
| 計(jì)算機(jī) | CPU | 獨(dú)立顯卡 | 顯示屏 | 操作系統(tǒng) | |||
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | ||||
| 測(cè)量軟件 | Victsir軟件模塊 | 掃描方式 | 單平面干涉(注1) | 雙平面干涉(注2) | |||
| Victsin Static (注3) | 無 | OK | X | ||||
| Victsin PSI | 壓電振鏡 | OK | X | ||||
| Victsin MST | 波長調(diào)諧 | OK | OK | ||||
| 注1:適用于大部分工件。 注2:通常適用于透明工件,同時(shí)對(duì)上表面,下表面,厚度,進(jìn)行測(cè)量。 注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測(cè)量。 | |||||||
測(cè)量精度
| jue對(duì)精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
| 注1:jue對(duì)精度被定義為"參考鏡的jue對(duì)精度"實(shí)際測(cè)量的jue對(duì)精度=jue對(duì)精度＋重復(fù)精度。 注2:波長為測(cè)量激光的波長，例如632.8 nm的測(cè)量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標(biāo)準(zhǔn)平面參考鏡的精度,更高精度需求請(qǐng)聯(lián)系銷售人員。 注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請(qǐng)聯(lián)系銷售人員確認(rèn)。 | |||
| 重復(fù)精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:實(shí)際精度與測(cè)量環(huán)境有關(guān)，zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動(dòng)。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據(jù)經(jīng)驗(yàn)RMS值是PV值的1/3左右。因?yàn)橄衿矫孢@類的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ時(shí)，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重復(fù)精度定義
連續(xù)100次測(cè)量的允差 (95%置信度)
測(cè)試環(huán)境
樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉，以避免氣流擾動(dòng)。
被測(cè)物
直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性與環(huán)境要求
| 硬件可靠性 | 平均工作時(shí)間>1000小時(shí) 平均連續(xù)工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 軟件可靠性 | 平均連續(xù)工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 對(duì)準(zhǔn)角度允差 | ± 3° | |
| 光瞳調(diào)焦范圍 | ≥±1.5米 | |
| 運(yùn)輸和貯存 | 溫度 | +10~+40 °c |
| 濕度 | RH≤60% | |
| 工作條件 | 溫度 | +20~+25℃ |
| 溫度變化 | ≤±1℃ @24小時(shí) | |
| 濕度 | RH≤50% | |
| 電壓 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
公司簡(jiǎn)介
筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評(píng)為技術(shù)企業(yè)的業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項(xiàng)目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務(wù)板塊，擁有接近2000m²的辦公區(qū)域，建有500平的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，為國內(nèi)外客戶提供業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營光學(xué)元件、激光光學(xué)測(cè)試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。依托業(yè)、強(qiáng)大的技術(shù)支持，以及良好的商務(wù)支持團(tuán)隊(duì)，筱曉的業(yè)務(wù)范圍正在逐年增長。目業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)外各高校、頂科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團(tuán)隊(duì)以及業(yè)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，奠定了我們?cè)谠O(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)域堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
主要經(jīng)營
激光器/光源
半導(dǎo)體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續(xù)激光器、超短脈沖激光器）
光學(xué)元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學(xué)晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅(qū)動(dòng)板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準(zhǔn)直器、光接收組件、激光控制驅(qū)動(dòng)器等各種無源器件
激光分析設(shè)備
高精度光譜分析儀、自相關(guān)儀、偏振分析儀，激光波長計(jì)、紅外相機(jī)、光束質(zhì)量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設(shè)備
光纖拉錐機(jī)、裸光纖研磨機(jī) 。
更新時(shí)間：2023/8/14 11:34:11
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