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而我們說到工業(yè)真空并不是指不存在任何物質(zhì)的空間，以現(xiàn)在的科學(xué)技能還無法到達的真空狀態(tài)它是指具有稀薄的氣體狀態(tài)氣壓且比一尺度大氣壓小的氣體空間。一樣平常環(huán)境，一臺真空泵、一個汽水疏散器、一個真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個簡略的真空機組體系。但在抽宇量多的環(huán)境下可以增長幾臺真空泵并聯(lián)利用，同樣在真空罐上配有遠傳壓力表來監(jiān)控真空的變革環(huán)境，議決智能控制柜時時調(diào)解真空泵的啟停，同樣也可以將這套理論套用至旋片式真空泵的原理上來。。

這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換M系列標準泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

①每臺機組均應(yīng)經(jīng)檢驗合格并附帶產(chǎn)品合格證方可出廠　　　?、跈C組的檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。　　　?、鄢鰪S檢驗：　　　　檢驗項目見[4.技術(shù)要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各條款。其中第⑤條按ZBJ78013的規(guī)定進行檢測，其余各條用目測方法檢查?！　　　、苄褪綑z驗：　　　　檢驗項目除按出廠檢驗項目檢查外，還應(yīng)檢查第4中的第⑥條，檢測方法按ZBJ78013的規(guī)定?！　　　、萦邢铝星闆r之一時，應(yīng)進行型式檢驗：　　　　a.新產(chǎn)品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產(chǎn)后，當結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時，　　　　c.正常生產(chǎn)并形成一定批量時，每年抽檢1臺～2臺，　　　　d.產(chǎn)品長期停產(chǎn)后，恢復(fù)生產(chǎn)時，　　　　e.國家質(zhì)量監(jiān)督機構(gòu)提出進行型式檢驗時。。

而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子，不僅節(jié)能30%，還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領(lǐng)域替代進口產(chǎn)品　　。

無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點：　?、贌o油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　　②抽氣量大---雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　　③抽氣效率高---帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動小；　?、萁Y(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；　　⑥體積小，維修方便，維護費用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無需水冷?！　≡摐u旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　?、侔雽?dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　　②科學(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；　?、蹤C械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備?！　≡摐u旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標、特點、基本用途和實際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個系統(tǒng)的介紹。。

本章描述的多級羅茨泵屬于ACP范圍（阿迪克森清潔泵）在一個泵中，兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子（1）在單個殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)（圖4.9）。該轉(zhuǎn)子具有8字形結(jié)構(gòu)，且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個轉(zhuǎn)子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉(zhuǎn)子分離開來。輸送的氣體從入口（3）被抽到出口（4）、一個軸由電機（5）驅(qū)動。另一軸通過齒輪箱中的正時齒輪（6）同步進行。潤滑于齒輪箱和封裝的低壓和高承（9），其與吸入室（7）通過軸封（8）密封開來。風冷式多級羅茨泵的工作原理由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高達6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對稱分布還產(chǎn)生的動態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運行卻極為安靜。。

高真空油擴散泵的主要部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導(dǎo)管和加熱器等，如圖4-30所示　　　　擴散泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度（約200℃），產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮，z*后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

多級羅茨泵ACP范圍內(nèi)的多級羅茨泵實現(xiàn)了緊湊型泵站，抽速高達285m3middot，h-1將ACP前級泵與羅茨泵組合使用，可實現(xiàn)z*終壓力高達5middot，10-3hPa。。

（2）兩級水環(huán)式真空泵有兩個葉輪串聯(lián)工作，可以獲得更大的排出壓力或更高的真空大多是單作用泵串聯(lián)而成。實質(zhì)上是兩個單級單作用的水環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。二、按吸氣和排氣方式：水環(huán)式真空泵有軸向吸排氣和徑向吸排氣之分。（1）軸向吸排氣方式，氣體的吸人和排出是通過殼體側(cè)蓋上的吸氣口和排出口進行的，其優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、維修方便，缺點是氣體進入和排出葉輪時，氣體流動方向與葉輪葉片運動方向相垂直，而且氣體不能在整個葉片寬度上均勻地進出葉輪，這就加大了氣體進入葉輪和流出葉輪時的水力損失，降低了泵的效率。（2）采用徑向吸排氣方式時，氣體進入和排出葉輪是通過設(shè)置在葉輪內(nèi)圓處（相當于輪轂處）的氣體分配器上的吸氣口和排氣口來實現(xiàn)的，其優(yōu)點是氣體可以在葉片全寬范圍內(nèi)進入和流出葉輪，而且還可以借助吸氣口和排氣口的形狀使氣體進入和排出葉輪的方向與葉輪運動方向大體一致，這就降低了水力損失，提高了泵的效率，缺點是氣俸分配器結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、加工和安裝精度較高。水環(huán)式真空泵的特點（1）水環(huán)式真空泵的結(jié)構(gòu)比較簡單、緊湊，容易制造及方便維修。（2）水環(huán)式真空泵它的排氣量比較均勻，工作運行可靠，使用方便。（3）水環(huán)式真空泵葉輪與泵體之間沒有摩擦，機器壽命很長。（4）SK型直聯(lián)式水環(huán)真空泵與電動機直接連接，轉(zhuǎn)速較高，內(nèi)部不需潤滑液，輸送氣體無污染。

清洗液可運用5%氫氧化鈉溶液也可運用5%的鹽酸溶液酸洗后再用清水沖洗潔凈以免腐蝕　　二、經(jīng)常檢查泵軸的密封狀態(tài)　　泵軸的密封作用是避免泵內(nèi)被緊縮的氣體從泵軸與泵殼體之間漏出同時也避免外界空氣浸入泵內(nèi)。常采用機械密封和反螺旋密封、石棉盤根密封和橡膠密封圈密封。其中機械密封效果。近期東北工業(yè)大學(xué)新研制的磁粉密封效果很好?！　∪?、合理選用羅茨泵的轉(zhuǎn)數(shù)　　在羅茨泵的運用中必需按實踐需求調(diào)整其轉(zhuǎn)數(shù)。顯然轉(zhuǎn)數(shù)的進步可增加理論排氣量使容積效率上升出力明顯增加但是由此而來的噪音的增加將惡化操作環(huán)境。消費中必需以增加轉(zhuǎn)數(shù)來進步泵的才能時應(yīng)在車間噪音允許的范圍內(nèi)調(diào)整。通常不采用進步轉(zhuǎn)數(shù)的作法。由于泵的抽速高于額定運用值時除了用旁路閥門停止調(diào)整外還應(yīng)降低轉(zhuǎn)速減少無功功耗。這樣對設(shè)備自身來說能夠減少毛病減輕振動增加功率儲藏進步過載才能同時改善操作環(huán)境降低噪音。