BDS SP 3、6和12驟射電源
BDS SP 3、6和12驟射電源
三個(gè)直接濺射工藝的新型 Bdis 電源系列。 可用范圍：
* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 輸出
* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 輸出
* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 輸出
適用檢測(cè) lt; 200 nSec）和數(shù)字接口。于中文件研發(fā)和工業(yè)樣品濺射。
用于驟射沉積的新型 Bdiscom 直流電源。
一些亮點(diǎn)：
* 所有單元均配備用戶友好的主動(dòng)式觸摸屏
*電壓
* 長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè) DV/DT 關(guān)閉 < 1mSec
* 冷卻空氣
電源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
輸出功率：3、6 和 12kw FS
電壓輸出：1000 V FS
輸出電流：6、12 和 25 安培
電壓：
持續(xù)時(shí)間 lt; 200 秒檢測(cè)，時(shí)間 1 秒 DV/DT 檢測(cè)，時(shí)間
效率 gt; 90%
顯示：顯示屏 240x128 像素
模式調(diào)節(jié)：功率/電壓/電流（可選）
冷卻：空氣（強(qiáng)制）
接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 選項(xiàng)）
工作溫度：5-40℃
尺寸：19" - 4HU
根據(jù) EN 55011 的 EMC 分類：
這是一種 ISM（工業(yè)科學(xué)醫(yī)療）設(shè)備，符合 EN 55011 第 2 組 A 類標(biāo)準(zhǔn)。
CE標(biāo)志 - 意大利制造
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