產(chǎn)品介紹
YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載 RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。
特征：
- 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
- 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
- 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
用途：
- 硅晶圓的灰化及蝕刻
- 基板表面污垢處理
- IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
- 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
- 自然氧化膜·有機(jī)物去除
- 界面活性處理
- 表面污染物去除
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨(dú)立） | 平板（多目的） |
反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標(biāo)配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測(cè)開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 | ||
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PDC600小型、多段式等離子清洗機(jī)。
用途：
- 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
- 灰化、蝕刻處理
- 塑料封裝前處理
- 印刷基板鍍層前處理
- LED關(guān)聯(lián)部品處理
- 電子部品清洗
- 光刻膠剝離或表面殘留物去除
- 光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
- 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
- FCC對(duì)應(yīng)
特征：
- YAMATO等離子裝置，600W的小型高輸出功率
- 電極可選擇1·2·3段（采購(gòu)時(shí)選）
- 可處理縱型的試料收納盒
- 可選擇RIE/DP模式（采購(gòu)時(shí)選）
- 數(shù)據(jù)記錄器（選配）
- 適配點(diǎn)記憶功能（選配）
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP（固定模式） |
電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板（固定） |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵（約345L/分）·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3 相 AC200 50/60Hz 15A |
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