硅片晶圓生產(chǎn)清洗工藝中，使用超聲波清洗機(jī)有效去除硅片晶圓表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元，各部分有獨(dú)立控制，隨意組合
1、爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?/p>
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過(guò)程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污物
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