Werth測量機(jī)的測量范圍從幾十個(gè)毫米到數(shù)米,精度從幾個(gè)微米到百個(gè)納米,測量分辨率到達(dá)1個(gè)納米,可以集成進(jìn)去使用的測量傳感器:接觸式單點(diǎn)、接觸式掃描、低接觸力測頭、激 光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側(cè)頭,WERTH光學(xué)測頭、普通光學(xué)測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復(fù)合的粗糙度測頭,WERTH CT (X 光高精度)測頭等十多種。
應(yīng)用優(yōu)點(diǎn):
◆ 圖象處理測量,接觸式測量和激光測量集成在一個(gè)三座標(biāo)測量機(jī)中
◆ 以可視的方式監(jiān)控激光測量
◆ 不損失測量范圍,激光傳感器集成到圖象處理傳感器中
◆ 光斑很小,可以測量很小的細(xì)節(jié)(在WLP 10x的情況下為3µm)
◆ 垂直的激光光路,可以測量很小的孔
◆ 自動(dòng)的光強(qiáng)調(diào)節(jié)和智能的軟件,容易地測量不同的表面
技術(shù)數(shù)據(jù):
◆ 的測量速度 1米/秒 (Inspector FQ ®)
◆ 采樣頻率:5000 點(diǎn)/秒
◆ 分辨率:0.1 µm
◆ 接觸精度 MPE*
使用Werth Zoom WLP
◆ 單點(diǎn)測量:
P1Z:2.5 µm
◆ 掃描:
THP1Z:3.5 µm
使用2.5x 光學(xué)鏡頭的WLP
◆ 單點(diǎn)測量:
P1Z:2.5 µm
◆ 掃描:
THP1Z:3.5 µm
使用5x 光學(xué)鏡頭的WLP
◆ 單點(diǎn)測量:
P1Z:1.0 µm
◆ 掃描:
THP1Z:1.5 µm
使用10x 光學(xué)鏡頭的WLP
◆ 單點(diǎn)測量:
P1Z:0.75 µm
◆ 掃描:
THP1Z:1.0 µm
◆ 測量原理: Foucault edge
* 使用Werth標(biāo)準(zhǔn)體,依據(jù)ISO 10360和2617。
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