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　　真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領(lǐng)域:①半導體行業(yè):薄膜制造設備、半導體器件封裝設備，②科學儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器，③機械設備行業(yè):材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備，④醫(yī)療設備行業(yè):牙科儀器、，生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備，⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設備，⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備等領(lǐng)域渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。。

　　二、旋片式真空泵　　分為單級旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個工作室）和雙級旋片式真空泵（它由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級）　　三、滑閥式真空泵　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動的滑閥部件、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成。。

　　激光雕刻機之使用水環(huán)真空泵雕刻機的保養(yǎng)方法：　　　　1）水箱水位確定在上水閥能夠流出水即可；工作8個小時內(nèi)就需要注一次水（工作中水蒸發(fā)很快，水位會逐漸下降）；水位低于上水閥就必須馬上注水；嚴謹真空泵缺水運轉(zhuǎn)，缺水運轉(zhuǎn)過熱會造成機封漏水；　　　　2）過濾罐正確安裝，吸附管口接到進氣口處，用卡扣固定緊、防止漏氣；　　　　3）接線蓋打開，三相電分別引到U1/V1/W1三個接線柱上；　　　　4）電機進水閥打開，5分鐘后，保證電機泵體內(nèi)水注滿后在通電試運行；　　　　5）開動電機，及時檢查電機正反轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)時把U1和V1處上的電源線交換一下就可以了；然后打開雕刻機吸附閥門、檢驗一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附設備產(chǎn)品注意不要有粉塵落入真空系統(tǒng)，防治堵塞損壞真空泵，真空泵工作一周時間需要清洗過濾罐內(nèi)濾網(wǎng)；冬季保持室溫0℃以上，以防止真空泵內(nèi)循環(huán)水結(jié)冰而損壞真空泵；可以使用防凍液進行防凍處理；　　　　7）水箱內(nèi)水溫不要高于70deg，，在高溫下長時間工作會使氣量降低吸力下降，將會使密封圈過早老化，而導致真空泵漏水；　　　　8）水箱要經(jīng)常清洗，每周必須清洗一次。

所需工作壓力將決定是否可將齒輪室連接至羅茨泵的前級真空側(cè)沖洗裝置沖洗裝置可用于在吸入室有沉積物形成的過程。該裝置的設計可根據(jù)具體要求與客戶進行單獨協(xié)調(diào)。標準泵的沖洗裝置要求使用密封氣體，防止沖洗液體達到軸承或齒輪室。表面保護如果要泵送的介質(zhì)是腐蝕性的，可為與產(chǎn)品接觸的部件提供耐用的表面保護。等離子聚合物薄膜層系統(tǒng)包括一個粘接劑層、一個防腐蝕保護層和一個非粘性涂層。層的厚度小于1mm。根據(jù)要求，吸入室可被磷酸化、使用氮排空以及進行真空密封，以便提供短期表面保護，如用于倉儲和運輸。密封件羅茨真空泵出廠配置FKM制成的O型圈。對于特殊的應用，所有的泵都可配置具體的O型圈或相應應用要求的密封件。。

油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮，z*后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

也采用從吸氣口注入真空油的方式，清潔的真空油將清洗潤滑泵內(nèi)零件，使之運轉(zhuǎn)更輕快7、安裝完畢以后，須將泵的周圍加以清理。泵和電動機的外部須擦拭干凈。影響旋片式真空泵可靠性和壽命的最主要因素由于旋片式真空泵為機油潤滑和密封式結(jié)構(gòu)，因此影響該泵可靠性和壽命的最主要因素是泵內(nèi)蒸汽、化學物質(zhì)的侵蝕以及潤滑劑的老化等。1、抽蒸汽（1）大多數(shù)的旋片式真空泵廠商會對設備的蒸汽耐受性為多少hPa或蒸汽的容量為多少克/小時進行詳細說明。這些信息指的是水蒸氣。當氣鎮(zhèn)閥開啟且真空泵處于工作溫度時，如果進氣壓力低于給出值，那么泵出的水蒸氣就無法冷凝。在干燥過程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而決定，而是由每單位時間收集的水量決定。因此，當務之急是使用封閉的真空側(cè)閥和開啟的氣鎮(zhèn)閥對泵進行預熱大約15至30分鐘，以達到其的工作溫度（油）（大約為70-80°C）。只有在正確的工作溫度下才可經(jīng)由開啟的氣鎮(zhèn)閥將蒸汽泵出。延遲開啟的高真空閥很容易被集成到控制系統(tǒng)中。

原因分析（1）電機功率大，工作電流大，發(fā)熱量大（2）風扇轉(zhuǎn)速低，風壓，風量小。（3）風扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風量小。（4）電動機附有灰塵、油污，降低了散熱能力。（5）真空泵電機所在母線電壓為380V，由于電纜壓降及負荷分配不均，電機實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運行電流大。對策電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風扇安裝于電機主軸上，電機轉(zhuǎn)速決定了風扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。（1）將原風扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機，軸流風機電機功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風扇繼續(xù)保留。軸流風機另設一路電源控制，軸流風機與主電機不設連鎖。

將泵蓋推壓至泵體上，注意定位銷應與泵體和圓盤的定位銷孔對齊用螺栓將泵蓋緊固在泵體上；3、泵裝好后，用手轉(zhuǎn)動電機風扇，泵必須旋轉(zhuǎn)順暢。如泵旋轉(zhuǎn)不順暢或泵旋轉(zhuǎn)過程中出現(xiàn)摩擦聲，應拆開泵蓋檢查葉輪間隙情況等，重新調(diào)整。水環(huán)式真空泵振動現(xiàn)象該如何處理？一、加裝彈簧隔振器1、真空泵彈簧隔振器樣式的選擇一般選用自立式彈簧減振器，其優(yōu)點結(jié)構(gòu)簡單、造價較低，彈簧裸露在外，便于隨時觀察彈簧狀態(tài)，對于需更換的彈簧提前處置，以避免彈簧銹蝕過度損壞時，造成真空泵突然沉降造成設備損害及管路扯斷等現(xiàn)像。2、彈簧的選擇一般減振器廠家選用彈簧需滿足以下要求：彈簧直徑應不少于其在額定負載下高度的0.8倍，彈簧須具備一定的額外行程，渦街流量計至少等于額定靜撓度的50%，彈簧的水平剛度至少是堅直鋼度的99%，以保證減振器的穩(wěn)定性。3、彈簧減振器撓度的選擇通常減振器廠商所提拱的彈簧減振器額定撓度（彈簧額定壓縮量）一般為25MM（自頻率值約3-4HZ），此撓度可應于650轉(zhuǎn)每分鐘的真空泵的隔振。當轉(zhuǎn)速低于650時，建議使用40以下?lián)隙戎畯椈筛粽衿?。二、加裝橡膠隔振器橡膠隔振器之選擇：材質(zhì)一般為氯丁膠（C.R），天然膠（N.R），一般選用壓縮型橡膠減振器，對于重量較輕的真空泵，可選用剪切型橡膠減振器，相較彈簧減振器，橡膠減振器隔振性能相對相差些。三、加裝隋性基座為滿足更加嚴格的振動制標準，加裝隋性基座時，配合使用彈簧隔振器，無疑是的選擇。水環(huán)式真空泵汽蝕現(xiàn)象的消除方法水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下長時間工作，會造成泵的噪聲、振動變大，甚至對泵造成損壞，因此應盡量避免水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過以下方法消除。1、降低水的溫度由于真空泵冷卻水溫升高會導致其抽氣能嚴重降低，真空泵密封水溫度必須低于排汽壓力對應的飽和溫度，否則就會使真空惡化，還會導致真空泵葉輪的汽蝕損壞。

降低機械磨損，提高運行可靠性在延長泵的使用壽命的同時也能有效的保護系統(tǒng)元件.）　　2、排氣濾芯（兼顧排氣阻力，容塵量，油氣分離性能三者的立要求達到的平衡。不同的內(nèi)外位置要用不同的材料以達到不同的分離目的）　　3、油濾芯（用于真空泵的潤滑油過濾，延長油的使用期主流式濾清器，安裝在油路中）　　使用與維護方法：　　在清掃更換方面，有很多人不得要領(lǐng)，往往是白白花費了力氣，卻沒收到比較好的效果?！　?、松開旋鈕式螺栓將過濾器外殼與頭部分離。注意不要將橡膠密封圈和纖維質(zhì)墊圈丟失。　　2，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過芯。　　3、用毛刷清除過濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵?！　?、按拆卸時相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^濾芯裝回去。。

為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過程中的主力泵種。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。。