PICOSUN™ P-300系統(tǒng)已經(jīng)成為高產(chǎn)能ALD 制造業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。擁有的熱壁、 獨立的前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計， 確 保我們可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低 顆粒水平和的電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì) 量ALD薄膜。高效緊湊的設(shè)計使得維護(hù)更 加方便、快捷， 限度的減少了系統(tǒng)的 維護(hù)停工期和使用成本。擁有技術(shù)的 Picoflow™使得在超高深寬比結(jié)構(gòu)上沉積 保形性薄膜更高效， 并已在生產(chǎn)線上得到 驗證。
襯底尺寸和類型
? 200mm晶圓 25片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
? 150mm 晶圓 50片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
? 100mm 晶圓 75片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
? 非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底（使用定制夾具）
? 高深寬比基底（深寬比1:2500）
工藝溫度
? 50 – 500°C
標(biāo)準(zhǔn)工藝
? 批量生產(chǎn)的平均工藝時間小于10秒/循環(huán)*
? Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬
? 同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ
(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**
基片加載
? 氣動升降， 手動裝載
? 線性半自動裝載
前驅(qū)體
? 液態(tài)， 固態(tài)， 氣態(tài)， 臭氧源
? 源瓶余量傳感器， 提供清洗和裝源服務(wù)
? 4根獨立的源管線，最多加載8個前驅(qū)體源
所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)。