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為FA 和研究實(shí)驗(yàn)室提供精確的形貌測(cè)量解決方案 低噪聲Z 探測(cè)器可精確測(cè)量A F M 表面形貌 用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本。

P  a r kN X 2 0 凝 聚 著 創(chuàng) 新 的 A F M 技 術(shù) 

1 . 1 0 0 μ m x 1 0 0 μ m 掃 描 范 圍 的 X Y 平 板 掃 描 器 

2.高 速 Z 軸 掃 描 器 ， 掃 描 范 圍 達(dá) 1 5 μ m

3.低 噪 聲 X Y Z 位 置 傳 感 器 

4.集 塵 編 碼 器 的 X Y 自 動(dòng) 樣 品 載 臺(tái) 

5.. 自 動(dòng) 多 點(diǎn) 樣 品 掃 描 

6.操 作 方 便 的 樣 品 臺(tái) 

7.用 于 拓 展 掃 描 模 式 易 插 拔 擴(kuò) 展 槽 

8.同 軸 高 功 率 光 學(xué) 集 成 L E D 照 明 和 C C D 系 統(tǒng) 

9.掃 描 頭 滑 動(dòng) 嵌 入 式 設(shè) 計(jì) 

10.. 自 動(dòng) Z 軸 移 動(dòng) 和 聚 焦 系 統(tǒng) 
規(guī)格：

park_NX20_300mm170202C04AB.pdf

ParkNX20.pdf