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晶圓測(cè)試探針臺(tái)
型號(hào)		SE-4	SE-6	SE-8	SE-12
外形		580mm長(zhǎng)* 620mm寬* 730mm高	640mm長(zhǎng)* 700mm寬* 730mm高	660mm長(zhǎng)* 660mm寬* 700mm高	1030mm長(zhǎng) 820mm寬 730mm高
重量		約70KG	約80KG	約85KG	約180KG
電力需求		220VC,50~60Hz
樣品臺(tái)	尺寸	4英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
	X-Y行程	4英寸*4英寸	6英寸*6英寸	8英寸*8英寸	12英寸*12英寸
	Z軸行程	6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)）
	移動(dòng)精度	10um/1um
	樣品固定方式	真空吸附
	背電極測(cè)試功能	有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺(tái)		U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置8個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座
光學(xué)特性	顯微鏡行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動(dòng)精度	1um
	切換鏡頭方式	顯微鏡快速傾仰30度
	放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
	鏡頭規(guī)格	目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機(jī)械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱時(shí)）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向		芯片及LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。
可選附件		顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度）	高低溫樣品臺(tái)		光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件
		顯微鏡氣動(dòng)升降裝置	屏蔽箱		射頻測(cè)試附件
		激光微加工	轉(zhuǎn)接頭		有源探頭
		探針卡夾具	防震臺(tái)		低電流/電容測(cè)試
		顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件	鍍金卡盤		兼容積分球測(cè)試選件
		液晶漏電分析套裝	同軸叁軸卡盤		光纖夾具耦合測(cè)試選件
		高壓/大電流測(cè)試套件	樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件		PCB/封裝夾具測(cè)試選件
		加熱臺(tái)	樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件		特殊定制
特點(diǎn)		1.顯微鏡龍門柱式設(shè)計(jì)，可使顯微鏡在平面內(nèi)移動(dòng)。
		2.顯微鏡可傾仰或氣動(dòng)升降，便于更換物鏡。
		3.可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用。
		4.同軸驅(qū)動(dòng)卡盤，移動(dòng)精度高。

特點(diǎn)
緊湊的結(jié)構(gòu)			同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
實(shí)惠的價(jià)格			無(wú)回程差設(shè)計(jì)
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)			1微米以上電極/PAD測(cè)試
高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用			LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試			材料/器件的IV/CV特性測(cè)試