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綜合型分析探針臺(tái)
型號(hào)		SH-6	SH-8	SH-12
外形		820mm長720mm寬890mm高	960mm長850mm寬900mm高	1300mm長920mm寬920mm高
重量		170公斤	約230公斤	約300公斤
電力需求		220VC,50~60Hz
樣品臺(tái)	尺寸	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
	行程	X-Y行程6*6英寸	X-Y行程8*8英寸	X-Y行程12英寸*12英寸
	移動(dòng)精度	1um
	樣品固定方式	真空吸附
	背電極測試功能	有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺(tái)	規(guī)格	U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座
	行程&調(diào)節(jié)方式	平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
光學(xué)特性	顯微鏡行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動(dòng)精度	1um
	切換鏡頭方式	顯微鏡快速傾仰30度
	放大倍數(shù)	20~4000X
	鏡頭規(guī)格	目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機(jī)械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱時(shí)）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向		晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等
可選附件		卡盤快速拉出裝置	加熱臺(tái)	光強(qiáng)/波長測試選件
		顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度）	高低溫樣品臺(tái)	射頻測試附件
		顯微鏡氣動(dòng)升降裝置	屏蔽箱	有源探頭
		激光微加工	轉(zhuǎn)接頭	低電流/電容測試
		探針卡夾具	防震臺(tái)	兼容積分球測試選件
		顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強(qiáng)/波長測試接口部件	鍍金卡盤	光纖夾具耦合測試選件
		液晶熱點(diǎn)偵測套裝	同軸叁軸卡盤	封裝器件夾具
		高壓/大電流測試套裝	樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件	PCB/封裝夾具測試選件
		帶真空底座的活動(dòng)Chuck	樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件	特殊定制

特點(diǎn)
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)			同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
針座平臺(tái)可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試			大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)			芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試
高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用			LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試
可用于12英寸以內(nèi)樣品測試			材料/器件的IV/CV特性測試